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长江存储喜迎第一台光刻机可造14nm3D

通讯
来源: 作者: 2018-12-07 18:55:30

中芯国际花了1.2亿美元从荷兰ASML买来一台EUV极紫外光刻机,未来可用于生产7nm工艺芯片,而根据最新消息,长江存储也迎来了自己的第一台光刻机,国产SSD固态硬盘再次取得重大突破。据悉,这台光刻机同样来自荷兰ASML(人家把持着全球90%的光刻机市场),193nm沉浸式设计,可生产nm工艺的3D NAND闪存晶圆,售价达7200万美元,约合人民币4.6亿元。

目前,该机已经运抵武汉天河机场,相关入境手续办理完毕后,即可运至长江存储的工厂。

后续,长江存储还会引入更多光刻机。

2016年底,世界级的国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设,2017年9月底提前封顶,2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

目前,长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产,不少产业链企业都拿到了样片测试,预计今年第四季度量产。

同时,长江存储还在推进64层堆叠3D闪存,力争2019年底实现规模量产,与世界领先水平差距缩短到2年之内。

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